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过了两个半小时，双方的法务工作人员审核完毕，最终的合同终于签订完毕，雄芯电子获得了ASML供应的45纳米级光刻机设备，同时也是内地首次引进45纳米工艺的光刻机设备。

这对于雄芯电子来说，一下子就可以跃居内地半导体制造厂商之首，芯片制造工艺水平超越了华芯国际可以宣布进入倒计时状态了。

根绝协议约定，ASML公司将会在今年第二季度到来之前完成交付任务，为此，雄芯电子要为这台光刻机设备支付高达11.7亿元人民币，超过1亿欧元的天价。

虽然很昂贵但物超所值，更重要的是先进的高端光刻机设备，对于华国人来说是有钱也未必能够买到。

这次雄芯电子能够顺利的拿下，少不了FinFET带来的强大议价能力，是专利互换为条件并且支付高额费用的结果。

这是没办法的事情，未来还得有一段时间承受关键技术或高端设备被西方卡脖子的情况，不过就目前来说已经是非常大的胜利了。

路要一步一步的开拓。

晶圆代工最关键的光刻机设备已经到位，其它蚀刻机之类的都不是大问题了。

ASML的人一走，罗晟笑呵呵的自言自语道：“这群老外，他们并不知道系统工程和软件才是我最在行的东西。”

罗晟愿意接受三年限制是因为他要跳过现有的技术，直接展开EUV光刻技术的研发，也就是极紫外光科技术，这一技术ASML也还在论证阶段，罗晟记得ASML公司要到2012年左右才宣布收购美国Cymer公司，加快EUV的研发进度。

以罗晟现在的财力，收购Cymer公司是没有任何压力，不过也不用去有什么念想，美国人不可能允许被他收购的。

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