58看书杨杰沉吟了一下后对何玉光等人说道：“工件台的精度必须还要想办法，我们公司现在采用的是气浮导轨技术，以后要对磁悬浮技术进行布局，一定要想办法把精度再提高。”

他顿了顿说道：“这样，我给大家定个目标，争取半年一个纳米的精度，四年后双工件台的运动精度争取达到两纳米。大家有没有信心？”

“杨少放心，我们一定完成您交代下来的任务，完不成任务，我这个总裁自己走人！”何玉光大声道。

“我对大家还是非常有信心的。”杨杰笑着点头道。

“杨少，我们跟激光物理所的联合研发的氟化氪准分子激光光源功率已经达到了二十二瓦，现在正在把提高功率提升到四十五瓦，预计要到明年四月份才能取得突破。”

“对了，氟化氪准分子激光光源技术成熟后，我再给大家加个任务，在光刻机上加上利用高折射率液体让激光波长缩短的装置，193纳米的波长可以大大缩短，这样可以让我们公司的光刻机至少可以满足二十纳米的制程工艺，直到把氟化氪准分子激光光源的波长极限用完。”

杨杰看着何玉光等人说道：“我知道加上的这个任务难度非常大，对于液体的选用、液体选用后会造成气泡、污染、抗腐蚀剂跟面漆的相容性等问题一大把，不过这个工作必须尽快地开展起来。”

“杨少，您到底是怎么想到这个技术方案的？”何玉光当然知道这个技术方案的优越性，也是震惊地瞪大眼睛，其他的人也都是满脸震惊地看着杨杰。

“呵呵，其实这个想法有很多人想到过，不过我们公司是做光刻机的，既然这个技术方案是可以实现的，我们为什么不去尝试呢！”

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