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方卓是在深夜十一点五十二分落地庐州,继而前往冰芯厂区,到达时已经逼近凌晨一点。
如此匆匆,只因为这边通知了新阳研发实验室的最新消息,由柴庆良领导的一支团队在使用新的聚酯环族丙烯酸酯之后构建出了合适的树脂体系,进而在原有的基础上推出一款ArF光刻胶,经初步测试之后呈现的结果是——可用。
只是初步测试,但简单的两个字格外动人心弦。
「可用」。
任何人都知道易科与冰芯如今的处境,也因此,当方卓接到电话,他就知道敢于在这种情况通知给自己的信息必然极其关键,也必然已经有了相当的把握,只是出于谨慎没有打出百分百的包票。
凌晨一点十五分,方卓见到做出可用光刻胶的研发团队负责人柴庆良,听取他对相关情况的汇报。
柴庆良语速不快,重点谈到新的环族结构对聚合物在耐热性、光学性能等方面的影响,以及,三种配方树脂的相互作用。
方卓对研发人员的汇报特点已经颇为习惯,耐心听完这一通讲述,询问道:「这样的光刻胶应用到生产之中,预计刚开始的良率能达到多少?」
「30%左右。」柴庆良平静的答道。
这样的良率对于一家晶圆制造企业无疑是不合格,是难以提供竞争力的,但是,这已经解决了从无到有的问题。
在座的人都清楚这种突破所能带来的意义。
不过,作为新阳的掌门人,王福翔听到这里还是多说了两句:「这次的光刻胶继续调整配方成分,提高它对波长光的敏感性,降低线宽粗糙度再提高成像质量,相信能在良率上继续获得提升。」
他扭头看向柴庆良,问道:「对吧,我这样说没错吧?」
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