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建造一座晶圆厂有两个非常重要的指标，一个是单晶硅晶棒的直径，另一个是制程的线宽。晶棒的直径越大，切割出来的单片晶圆的面积就越大，从而每片晶圆可分割出的芯片数量就越多。

实际上3英寸的晶圆和4英寸、5英寸的制造成本相差并不多，而5英寸晶圆的面积是3英寸的2.78倍。也就是说，同一款芯片的制造成本中，采用5英寸的晶棒在晶圆制备环节的成本，只有3英寸工艺的三分之一左右。

而另一个非常关键的技术指标是制程线宽，也叫做蚀刻尺寸，是指制造设备在一个硅晶圆上所能蚀刻的最小尺寸。再具体一些来解释，这个线宽就是指晶圆表面上连接晶体管之间的导线宽度。

你可以想像一下：用一把柴刀和一把手术刀分别在一块木板上划一下，两者的划痕大小肯定不一样。“柴刀”就好比已经逐渐落伍的5微米制程，而“手术刀”就好比最先进的1.5微米制程。

每一片晶圆经过前期加工后，可用面积都是固定的。如果导线越细，它在晶圆上所用侵占的面积就会越小，就可以剩下更多的面积，用来集成更多的晶体管。同时导线越细，带来的电阻也会越小，电流速度则会越快。前者可以降低芯片的功率，后者可以提高芯片的频率。

而决定制程水平的设备主要是光刻机，这也是整个半导体制造工艺中最核心、最关键的设备。另一个时空中，英特尔从x86系列，到后来的奔腾系列、酷睿系列。一直引领了整个半导体制造工艺的潮流。

在李轩重生前，荷兰asml公司是全球最大的半导体设备制造公司之一。在中高端光刻机市场，asml公司占据大约60%的市场份额。而最高端市场（例如沉浸式光刻机），asml公司的市场份额更是高达80%。

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